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  • 探針臺怎么選合適的配置,怎么確定精度? 通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型: 1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件? 2、探針臺機械精度要求多高? 3、點測樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的minipad,還是ic內(nèi)部的metal? 4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡(體式顯微鏡最大倍率200倍) 5、最多需要幾根探針同時去點測? 6、會測試到的最大的電流、電壓值是多少(電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具) 7、漏電精度需要達到多高?是否有射頻的需求?三軸管狀夾具:100FA,同軸彈簧夾具:10PA(漏電精度:最小能測到的電流的量級) 8、是否會用到探針卡? 9、光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少? 10、顯微
    2018-11-0910120
  • 2018-11-085064
  • 直流輝光放電中等離子體診斷實驗操作指導手冊
    2018-11-065183
  • 近代物理實驗“氣體放電中等離子體的研究”出實驗設備啦,一次由理論到實踐的轉變就從SSV-40開始 背景:實驗“氣體放電中等離子體的研究”為大學近代物理實驗中的必修實驗之一,但是一直以來都沒有公司或者是個人生產(chǎn)出完整的相對應的實驗設備,因此該實驗一直處于紙上談兵的狀態(tài),今天由東北大學真空與流體工程研究所教授團隊針對此實驗經(jīng)過多年的研究,終于開發(fā)出SSV-40型氣體放電與等離子診斷儀,并且面向全國各高校發(fā)售,從此實驗“氣體放電中等離子體的研究”從理論走向實踐,從書本走向現(xiàn)實。 產(chǎn)品信息: 整套設備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)等部分組成。 朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調節(jié)。 利用該裝置可實現(xiàn)的主要實驗內(nèi)容有: 1
    2018-10-246023
  • 探針臺系統(tǒng)剖析 探針臺系統(tǒng)分為手動探針臺與自動探針臺,以下我們主要分析手動探針臺: 探針臺用途: 手動探針臺又稱探針測試臺主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。 探針臺系統(tǒng)組成: 探針臺臺體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表(請注意無測試源表就構成不了系統(tǒng),探針臺只是提供一個測試平臺,一切數(shù)據(jù)的測量都需要依靠測試源表來完成) 探針臺測試環(huán)境: 可提供的測試環(huán)境有:常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環(huán)境。
    2018-10-055157
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