壓電馬達，納米級位移臺
壓電馬達驅動的位移臺特點： 1、長行程，理論上無行程限制 2、超高精度，可迖10納米 3、無回程間隙，具內秉剎車功能 4、無磁，無油，無電磁干擾，真空兼容 5、快速，速度迖300毫米/秒 6、超薄設計，結構緊湊
